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Thèses / ETUDES ET CARACTERISATION OPTO-NUMERIQUE DE COUCHES MINCES PIEZOELECTRIQUES D'AIN INTEGREES COMME UNE COUCHE ACTIVE DE MICROPOUTRES MEMS
ETUDES ET CARACTERISATION OPTO-NUMERIQUE DE COUCHES MINCES PIEZOELECTRIQUES D'AIN INTEGREES COMME UNE COUCHE ACTIVE DE MICROPOUTRES MEMS